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Elisabeth BLANQUET

Directrice de Recherche au CNRS - Laboratoire de Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) - Université Grenoble Alpes, Grenoble, France

10 novembre 2016

RE252
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

Lors de la mise au point d’un procédé de dépôts de couches atomiques, la prise en compte de la thermodynamique de la phase gazeuse présente plus d’un intérêt. Cette approche permet de prévoir les réactions, d’optimiser les conditions opératoires et de minimiser les coûts expérimentaux.