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Professeur, directeur de Département - Département des Sciences et Technologies, Haute École en Hainaut, Mons, Belgique
Savez-vous que la technologie HiPIMS bipolaire permet de contrôler l’énergie des ions intervenant dans la formation de films minces fonctionnels ? Approfondissez ce type de pulvérisation cathodique magnétron avec le cas de la croissance de films de titane métallique sur substrats conducteurs et celui du dioxyde de titane sur substrats isolants.
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