Éric DONZIER

La microélectronique a apporté de grandes avancées au capteur, à la fois en fonctionnalités et en coût. Cet article présente les matériaux utilisables en microélectronique, et notamment le silicium. Puis il détaille les technologies de micro-usinage collectif utilisables pour produire ces capteurs. Les propriétés et les applications sont ensuite détaillées pour les capteurs micro-usinés et non micro-usinés.

Le capteur assure la transformation d'une information extérieure en une grandeur compatible avec l'organe de traitement. Cet article décrit les capteurs élémentaires. Il commence par définir cette notion de capteur élémentaire et comment décomposer une chaîne globale. Puis il présente les principaux phénomènes exploités par les capteurs, en utilisant des propriétés spécifiques de matériaux. Enfin les technologies de capteurs relevant de la microélectronique sont étudiées plus en détail.