Jacques KOOLS

Président - Encapsulix SAS, Simiane, France

  • Article de bases documentaires : RE254
    Réacteurs ALD

    Le choix du réacteur et de sa configuration est une des étapes les plus importantes dans un projet ALD. Connaissez-vous les conditions physiques et chimiques à l’échelle nano et micrométrique nécessaires à l’obtention d’un processus de croissance atomique ?