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Jacques KOOLS

Président - Encapsulix SAS, Simiane, France

10 novembre 2016

RE254
Réacteurs ALD

Le choix du réacteur et de sa configuration est une des étapes les plus importantes dans un projet ALD. Connaissez-vous les conditions physiques et chimiques à l’échelle nano et micrométrique nécessaires à l’obtention d’un processus de croissance atomique ?

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