6. Glossaire
Thermogravimétrie ; thermogravimetry
Technique permettant de mesurer, en fonction du temps ou de la température, la masse d'un échantillon chauffé ou refroidi selon un programme de température déterminé.
ICP-MS (inductively coupled plasma-mass spectrometer )
Spectromètre de masse utilisé pour déterminer la nature d'un matériau, qui analyse les ions qui se forment lorsque les éléments d'un échantillon traversent un plasma à couplage inductif.
MOEMS
Systèmes micro-opto-électromécaniques
CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor )
CVD (Chemical Vapor Deposition)
Dépôt chimique en phase vapeur
PVD (Physical Vapor Deposition )
Dépôt physique en phase vapeur
PLD (Pulsed Laser Deposition )
Dépôt par laser pulsé
TAS
...
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