3. Techniques avancées
3.1 RHEED
Le RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction) est une technique de diffraction électronique en incidence rasante. Elle permet d’étudier in situ de nombreux phénomènes de surface comme la structure cristalline, les réorganisations de surface, la vitesse et le mode de croissance, la variation des paramètres de maille et l’évolution de la rugosité de la surface. Un faisceau d’électrons de 5 à 100 keV est envoyé sur la surface à étudier en incidence rasante (angle inférieur à trois degrés). Les électrons sont alors diffractés par les atomes de surface (quelques couches atomiques), et forment un diagramme de diffraction observé sur un écran phosphorescent et pouvant être analysé grâce à une caméra.
Le RHEED est souvent accompagné d’un système de pompage...
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Techniques avancées
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