1. Principe
1.1 Bref historique
Les premières expériences de dépôt en couche mince par PLD surviennent peu après la découverte du laser. H.M. Smith et A.F. Turner déposent la première couche mince en 1965 , mais c’est seulement en 1987 que la PLD prend son essor avec les premiers dépôts en couche mince de supraconducteurs à haute température YBa2Cu3O7 par D. Dijkkamp, X. Wu et T. Venkatesan. La PLD apporte enfin une technique permettant de déposer en...
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Principe
Paramètres de dépôt
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