1. Filière FD-SOI
1.1 Contexte et atouts du FD-SOI
Les mérites traditionnels du SOI sont bien connus : isolation totale des dispositifs, jonctions fines permettant de réduire les courants de fuite et les capacités parasites, robustesse aux irradiations, etc. . Ils n’ont pourtant pas suffi pour détrôner la technologie CMOS sur silicium massif. Lorsque la miniaturisation des transistors s’est trouvée bloquée, il a été démontré que la seule possibilité pour continuer d’avancer...
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Mécanismes physiques particuliers dans les transistors FD-SOI
Sources bibliographiques
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