Technologies de base des microsystèmes
Microsystèmes

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Technologies de base des microsystèmes
Microsystèmes

Auteur(s) : Daniel ESTÈVE, Jean SIMONNE

Date de publication : 8 octobre 2000 | Read in english

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2. Technologies de base des microsystèmes

Le matériau « Roi » des microsystèmes reste le silicium que nous connaissons bien dans ses caractéristiques de semi-conducteur appliqué à la microélectronique et que l’on redécouvre avec d’excellentes propriétés mécaniques et d’innombrables possibilités de combinaisons pour réaliser des fonctions optiques, chimiques ou biochimiques. Le tableau 1 compare les propriétés mécaniques de l’acier et du silicium. Ajoutons à cette comparaison chiffrée le caractère cristallin du silicium qui permet d’assurer une totale reproductibilité de ses propriétés.

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