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Technologies de films minces piezoélectriques pour filtres RF

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Technologies de films minces piezoélectriques pour filtres RF

Auteur(s) : Ausrine BARTASYTE, Paul MURALT

Date de publication : 10 mai 2025 | Read in english

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6. Glossaire

Circuit équivalent de type Butterworth-Van Dyke  ; Butterworth-Van Dyke equivalent circuit

Circuit électronique, composé d’une résistance mécanique, d’une capacitance mécanique, d’une inductance mécanique et d’une capacitance électronique, utilisé pour décrire le comportement électromécanique d’un dispositif piézoélectrique avec ses électrodes.

Couche mince épitaxiée  ; epitaxial thin film

Couche mince présentant une orientation bien définie dans la direction de l’épaisseur et dans le plan du substrat. Ce type de croissance est dépendant de la structure de surface du substrat (une symétrie et des distances entre les plans atomiques). Les couches épitaxiées peuvent contenir des domaines de croissance présentant la même...

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