2. Technologie et environnement de conception
2.1 Environnement de fabrication
La technologie photonique sur silicium vise à réaliser l’ensemble des composants élémentaires sur une plateforme silicium, et plus précisément une plateforme silicium sur isolant : SOI ( Silicon On Insulator ). Cette plateforme SOI propose une couche de silicium monocristallin sur une couche d’oxyde, elle-même sur le substrat silicium. La couche de silicium est utilisée pour former le cœur des guides optiques et la couche d’oxyde, la gaine optique inférieure. La gaine optique supérieure est réalisée par un dépôt d’oxyde après la structuration du silicium (figure 3 ).
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Technologie et environnement de conception
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