4. Technologies de mise en œuvre
Le lecteur se reportera aux dossiers spécialisés de notre collection.
4.1 Réalisation par PVD
L'abréviation PVD (Physical Vapor Deposition) désigne une famille de techniques de dépôt de couches minces par voie physique. Elle comprend les techniques faisant appel à la pulvérisation ionique et celles employant l'évaporation thermique . Presque toutes les techniques PVD sont mises à contribution pour réaliser les microbatteries. La séquence de réalisation en laboratoire d'une microbatterie par PVD est typiquement comme suit :
préparation du substrat approprié (nettoyage hors de la machine de dépôt, nettoyage in situ, chauffage) ;
mise en place du masque « collecteurs électriques »...
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Technologies de mise en œuvre
Caractérisations des couches minces et des microbatteries
Sources bibliographiques
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