5. Caractérisations des couches minces et des microbatteries
5.1 Épaisseur, masse
L'épaisseur des couches minces est mesurée à l'aide d'un profilomètre mécanique ou peut être déduite des spectres RBS ( Rutherford Backscattering Spectroscopy ). La détermination de la masse est une donnée importante car elle permet le calcul de la capacité massique de l'électrode positive. Elle est effectuée avec une microbalance de précision (± 0,1 μg).
5.2 Composition chimique
La détermination...
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Caractérisations des couches minces et des microbatteries
Perspectives de développement industriel
Sources bibliographiques
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