Imagerie thermique en champ proche
Transferts de chaleur à l'échelle du nanomètre

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NM5110 V1 Article de référence

Imagerie thermique en champ proche
Transferts de chaleur à l'échelle du nanomètre

Auteur(s) : Jean-Jacques GREFFET, Sebastian VOLZ

Date de publication : 10 avril 2007 | Read in english

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3. Imagerie thermique en champ proche

Les techniques optiques (caméra infrarouge, réflectométrie) sont couramment utilisées pour cartographier la température sur des dimensions microniques. Cependant, la diffraction limite leur résolution spatiale à environ une longueur d'onde. Ainsi, on ne peut pas espérer observer une image directe dans l'infrarouge avec une résolution meilleure que 10 µm si l'on travaille dans la bande 8 à 12 µm. Une meilleure résolution est couramment obtenue en détectant la réflectivité d'un faisceau visible focalisé sur une tache de 1 µm. On peut alors déplacer ce faisceau afin de réaliser une cartographie avec une résolution de 1 µm. Cette technique permet de remonter au champ de température en tirant partie de la variation de réflectivité en fonction de la température. Pour atteindre des échelles nanométriques, il faut passer aux microscopies à sonde locale. Un exemple type de microscopie à sonde locale...

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