Quelques applications
Transferts de chaleur à l'échelle du nanomètre

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Quelques applications
Transferts de chaleur à l'échelle du nanomètre

Auteur(s) : Jean-Jacques GREFFET, Sebastian VOLZ

Date de publication : 10 avril 2007 | Read in english

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5. Quelques applications

5.1 Lithographie assistée thermiquement

L'une des applications du chauffage thermique est la nanolithographie. Des expériences récentes menées à Berkeley  ont montré que l'on peut modifier l'état de surface d'un polymère avec une résolution de l'ordre de 20 nm. La technique est basée sur l'échauffement rapide et très confiné...

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