Caloducs à rainures
Caloducs plats en silicium pour composants électroniques

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RE16 V1 Article de référence

Caloducs à rainures
Caloducs plats en silicium pour composants électroniques

Auteur(s) : Yvan AVENAS, Charlotte GILLOT, Christian SCHAEFFER

Date de publication : 10 août 2004

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3. Caloducs à rainures

3.1 Comparaison avec les caloducs métalliques

Du point de vue technologique, la plus grande différence que l’on puisse trouver entre un réseau capillaire à rainures en cuivre et un réseau capillaire à rainures en silicium est la dimension minimale envisageable des rainures. En effet, la réalisation des rainures dans un métal peut se faire par extrusion, par brochage, par fraisage ou par électroérosion. De plus, si on veut que le produit soit industrialisable, seules les deux premières méthodes peuvent être utilisées. Or, d’après les données que nous avons trouvées dans la littérature

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