3. Étude des mécanismes réactionnels
La détermination pendant le procédé ALD des mécanismes réactionnels qui donnent lieu à la croissance du matériau nécessite l’analyse autant de la phase gazeuse que de la phase solide. Comme présenté dans l’article
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD
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Étude des mécanismes réactionnels
Analyse des propriétés physico-chimiques de la couche élaborée
Sources bibliographiques
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