4. Analyse des propriétés physico-chimiques de la couche élaborée
Ces dernières années, le besoin de caractériser au plus près de la croissance les propriétés des matériaux élaborés a conduit aux développements de nombreux ensembles instrumentaux reliés par des dispositifs de transfert sous vide ( cluster tool ). Ceci est particulièrement intéressant dans le cas de matériaux sensibles à l’air, afin d’étudier les propriétés, sans altération induite par le transfert à l’air libre. Ces caractérisations sont dans des conditions très proches des conditions i n situ . Elles sont parfois labellisées comme in vacuo et seront abordées dans le paragraphe 4.2
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Analyse des propriétés physico-chimiques de la couche élaborée
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