5. Conclusion
Bien que déjà brevetée en 1977 en même temps que l’ALD temporelle, l’ALD spatiale n’a été mise au point qu’au début du XXI e siècle. La possibilité d’utiliser l’ALD avec des vitesses de dépôt plus élevées, à la pression atmosphérique (et même à l’air libre) a attiré l’attention sur la SALD avec une forte dynamique de développement. Depuis les premières publications en 2004 et 2008, le nombre de publications ne cesse d’augmenter. La SALD a également fait la transition du laboratoire à l’échelle industrielle et plusieurs systèmes commerciaux sont déjà disponibles à la fois pour le laboratoire et à l’échelle de la production.
La SALD est une technologie de dépôt très flexible qui permet une grande liberté de conception, comme le montre le nombre croissant de réacteurs en cours d’élaboration. Parce qu’au sein de la SALD...
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