2. Garder les précurseurs séparés : Les bâtis de SALD
L’approche spatiale a prouvé être très polyvalente du point de vue technique puisque de nombreux réacteurs ont été répertoriés à ce jour. S. Nonobe et al. a proposé un réacteur spatial horizontal en quartz (voir figure 1 dans ) pour la croissance de films d’HfO 2 sur substrats de silicium de surface 10 mm × 10 mm
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Garder les précurseurs séparés : Les bâtis de SALD
Dynamique des fluides et SALD : des défis d’ingénierie
Sources bibliographiques
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