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Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

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Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Auteur(s) : Isabelle DUFOUR, Frédéric LOCHON

Date de publication : 10 avril 2006

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Références FADEL (L.) LOCHON(F.) DUFOUR (I.) FRANÇAIS (O.) Chemical sensing : millimeter size resonant microcantilever performance. Journal of Micromechanics andMicroengineering, vol. 14, p. S23-S30 (2004). LOCHON (F.) DUFOUR(I.) REBIÈRE (D.) A microcantilever chemical sensors optimization by taking into account losses. Sensors and Actuators B, vol. 118, p. 292-296(2006). MCGILL (R.) ABRAHAM(M.) GRATE (J.) Choosing polymer coatings for chemical sensors. Chemtech, tome24 (9), p. 27-37 (1994). GRATE (J.) ABRAHAM(M.) Solubility interactions and the design of chemically selective...
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