Conclusion et perspectives
Microstructures électrostatiques de récupération d'énergie vibratoire pour les microsystèmes

Les systèmes de récupération d'énergie mécanique électrostatiques connaissent un essor depuis le début des années 2000 avec la réalisation de nombreux prototypes dans les laboratoires de recherche. L'intégration des électrets a permis de pallier le problème de la charge initiale et également de simplifier l'électronique associée.

Bien que ces structures présentent de nombreux intérêts en termes d'intégration et de densités de puissance, aucun système n'est commercialisé à l'heure actuelle, contrairement aux systèmes piézoélectriques et électromagnétiques. La raison principale est que le principe électrostatique n'est intéressant qu'en petites dimensions. Or, à l'heure actuelle, les besoins en énergie des applications (~ 1 mW) ne sont pas encore tout à fait en adéquation avec ce que peut fournir une microsource d'énergie (quelques dizaines de microwatts) et il est...