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Philippe LECLERE,
INTRODUCTION
La course à la miniaturisation des dispositifs électroniques est lancée depuis quelques temps. Dans un avenir proche, les limites des technologies actuellement employées pour la fabrication de circuits intégrés par lithographie conventionnelle seront atteintes. Cet article présente quelques pistes intéressantes pour dépasser ces limites.
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DOI (DIGITAL OBJECT IDENTIFIER)
(Nano)structuration douce de surfaces
Contexte
Références bibliographiques
Microfabrication et fabrication de nanostructures
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