1. Cahier des charges des précurseurs ALD
1.1 Propriétés des précurseurs ALD
Les précurseurs ALD doivent être transportés en phase gaz du container de stockage, qui est le plus souvent chauffé, sur des distances plus ou moins importantes en fonction de l’architecture du réacteur pour finalement réagir chimiquement sur le substrat qui sera également chauffé à une température différente. Une très bonne volatilité est donc le prérequis majeur dont doit disposer le précurseur mais sans détériorer les propriétés de stabilité thermique et de réactivité chimique. En premier lieu, ces précurseurs inorganiques (métalliques) devront donc avoir une structure finie, c’est-à-dire être moléculaire et non pas polymérique ni un réseau ionique cristallin. La stabilité thermique sur une gamme de température est également souhaitée pour éviter...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Cahier des charges des précurseurs ALD
Ingénierie moléculaire des précurseurs ALD
Sources bibliographiques
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Article inclus dans l'offre
"Innovations technologiques"
(
230 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
