3. Conclusions et tendances
Le rôle de l’ingénierie moléculaire dans le développement de précurseurs pour l’ALD est crucial pour l’obtention de dépôts à très haute performance mais également pour l’élaboration de nouveaux matériaux, voire de nouveaux procédés ALD. Le défi à relever dans cette chimie des précurseurs ALD est de trouver la meilleure combinaison métal + ligand en termes de caractéristiques structurales et chimiques pour obtenir le matériau voulu sous forme de couches minces ou films.
Le tableau 3 récapitule les propriétés générales attribuées à chaque grande famille de précurseurs permettant de donner un portrait-robot du précurseur idéal.
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Conclusions et tendances
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