3. Utilisation des données thermodynamiques
L’apport de simulations thermodynamiques aux procédés ALD et CVD concerne deux points : la sélection du précurseur et l’optimisation des conditions d’élaboration . Il est clair qu’avant d’obtenir un produit finement ciblé, répondant à un cahier des charges fonctionnelles défini, il faut répondre aux questions successives suivantes :
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Utilisation des données thermodynamiques
Conclusion
Sources bibliographiques
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