Propriétés thermodynamiques de la phase gaz
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

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RE252 V1 Recherche et innovation

Propriétés thermodynamiques de la phase gaz
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

Auteur(s) : Ioana NUTA, Elisabeth BLANQUET

Date de publication : 10 novembre 2016 | Read in english

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1. Propriétés thermodynamiques de la phase gaz

L’état gazeux est caractérisé par une densité atomique ou moléculaire faible (de l’ordre de 2 x 10 25 atomes par mètre cube alors que dans la phase condensée – solide ou liquide- elle est de l’ordre de 6 x 10 28 atomes par mètre cube) dans des conditions normales de pression et température ( P  = 1 bar et T  = 25 °C) . Dans un gaz, la distance moyenne parcourue par une particule se déplaçant entre deux impacts successifs...

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