4. Conclusion
Le rôle de la thermodynamique de la phase gazeuse est essentiel dans la mise au point d’un nouveau procédé ALD : il permet de hiérarchiser les paramètres nécessaires afin de minimiser les coûts expérimentaux. Le défi reste la construction de bases thermodynamiques pour les précurseurs organométalliques et notamment les données sur la phase gazeuse. Des efforts sont nécessaires dans l’instrumentation scientifique afin de pouvoir élargir les mesures disponibles. De ce fait, un inventaire systématique des enthalpies de réaction reste de loin plus difficile à rassembler qu’une compilation basée sur les enthalpies de formation, méthode plus couramment mise en œuvre (les enthalpies de formation sont souvent calculées à partir des données d’enthalpie de réaction et des analogies avec des enthalpies de formation de composés connues). Le même constat pour les entropies de réaction peut être adressé....
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