Détermination expérimentale des grandeurs thermodynamiques des phases vapeurs
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

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RE252 V1 Recherche et innovation

Détermination expérimentale des grandeurs thermodynamiques des phases vapeurs
Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD

Auteur(s) : Ioana NUTA, Elisabeth BLANQUET

Date de publication : 10 novembre 2016 | Read in english

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2. Détermination expérimentale des grandeurs thermodynamiques des phases vapeurs

La thermodynamique s’intéresse uniquement aux états macroscopiques de la matière dont les propriétés sont perceptibles par voies expérimentales. Les vapeurs sont définies comme la forme sous laquelle se présente la phase gazeuse d’un composé à des températures au-dessous d’une température dite « critique ». Au-delà de cette température, les propriétés du liquide sont similaires à celles de la phase gazeuse, en particulier l’indice de réfraction ne permet plus de séparer le liquide du gaz, il n’y a plus notion de gaz mais de fluide. La phase gazeuse est caractérisée du point de vue thermodynamique par ses constituants chimiques (atomes et/ou molécules), par sa pression et par sa température absolue (en K).

2.1 Constituants chimiques d’un gaz

Pour l’identification...

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