3. Spectroscopie X à dispersion d'énergie
La spectroscopie X à dispersion d'énergie (
Energy dispersive X-ray spectrometry
, EDXS) utilise les rayons X caractéristiques générés dans un échantillon irradié par un faisceau d'électrons pour l'identification des éléments chimiques. C'est l'application de la loi de Moseley ainsi que R. Castaing l'a réalisée le premier avec sa microsonde (le sujet lui avait été proposé par A. Guinier). R. Castaing utilisait alors un système dispersif (cristal) pour identifier les photons X caractéristiques.
Le domaine énergétique étudié dans une seule acquisition (0 à 20 keV) est plus étendu qu'en spectroscopie des pertes d'énergie des électrons (EELS)
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Spectroscopie X à dispersion d'énergie