3. Dépôt d'YBCO
3.1 MOCVD
Dans cette partie, nous décrivons le dépôt d'YBCO par une méthode chimique de condensation de vapeurs sous vide ( Metal Organic Chemical Vapor Deposition – MOCVD) utilisant des vapeurs de composés métal-organique. Le dépôt est fait sur un substrat chauffé à haute température où les espèces réagissent après diffusion de surface. Ce procédé présente un très fort taux de dépôt (plusieurs μm/h) et est relié aux techniques de vide mais sans nécessiter l'ultra-vide. Ici sont décrites des études sur substrats IBAD et RABITS qui ont abouties aux pilotes de laboratoires, ou préindustriels, ayant la capacité de fabriquer des rubans de longueurs kilométriques (tableau 2 )....
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Dépôt d'YBCO
Conclusion
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