1. Bruit de fond dans les dispositifs les plus usuels
Nous présentons ici les mesures de bruit basse fréquence (BF) utilisées comme outil de caractérisation pour la microélectronique : composants passifs et actifs, discrets et intégrés. Le bruit basse fréquence traduit les fluctuations de courant ou de tension dans les composants. À partir de modèles physiques et électriques, les sources de bruit minimales (bruit blanc) et les sources de bruit en excès (bruit en 1/ f , bruit de génération-recombinaison, bruit RTS) sont analysées en vue d’étudier leur influence sur le fonctionnement des composants et des systèmes associés. De plus, de par la sensibilité de ces mesures, l’amplitude et la localisation du bruit en excès sont utilisées comme « indicateur technologique ». Ainsi, l’influence de certaines étapes du process peuvent être caractérisées finement (métallisations, nettoyage d’interfaces...). À l’heure...
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Bruit de fond dans les dispositifs les plus usuels
Mesures du bruit de fond
Bibliographie
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