Exemple de pompage en vide poussé. Influence de la désorption
Gaz à très basse pression - Calcul des installations sous vide

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Exemple de pompage en vide poussé. Influence de la désorption
Gaz à très basse pression - Calcul des installations sous vide

Auteur(s) : Guy ROMMEL

Date de publication : 10 février 1988

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7. Exemple de pompage en vide poussé. Influence de la désorption

7.1 Données

L’enceinte à pomper est une cavité résonnante haute fréquence produisant un champ électrique accélérant des particules. Les dimensions et la forme de l’enceinte sont imposées par la nécessité d’obtenir une certaine forme de champ électrique accélérateur à une fréquence donnée : la cavité a la forme d’un cylindre de 3 m de longueur pour 1 m de diamètre. Pour obtenir un bon coefficient de surtension, les parois sont en cuivre. Pour tenir le champ accélérateur, la présence d’hydrocarbure est interdite. Pour ne pas avoir de décharge électrique, la pression doit être inférieure à 5 × 10 – 4  Pa. Pour éviter un élargissement du faisceau accéléré par choc de la particule contre une molécule du gaz résiduel, la pression doit être inférieure...

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