Conclusion et perspectives
Le microscope à force atomique métrologique

Les AFM métrologiques, encore exclusivement développés au sein des laboratoires de métrologie, sont de plus en plus répandus. Ils permettent d’établir une voie de traçabilité au sens métrologique du terme entre la définition du mètre du Système international d’unité et les grandeurs dimensionnelles accessibles dans le domaine de la microscopie en champ proche et de la microscopie électronique. Ils sont alors mis au service de la recherche et de l’industrie pour fournir des solutions d’étalonnage sur les structures de référence rencontrés dans ces deux domaines. Ils peuvent également être mis à contribution pour la mesure de haute exactitude sur des produits avancés présentant des structures nanométriques. Ces instruments bénéficient des derniers développements réalisés dans le domaine de la microscopie à force atomique. Leur évolution est principalement guidée par les besoins en termes...