5. AFM métrologique du LNE
Depuis 2007, le LNE (Laboratoire national de métrologie et d’essais), qui est l’Institut National de Métrologie français, développe son propre AFM métrologique. Cet instrument de référence permettra à terme de proposer, en France, des solutions d’étalonnage pour les structures de référence utilisées principalement en microscopie champ proche mais aussi en microscopie électronique. Le LNE a choisi de développer intégralement ce mAFM afin de rester maître des choix de conception qui conditionnent la maîtrise de l’incertitude de mesure.
5.1 Cahier des charges de l’AFM métrologique du LNE
Ce mAFM est dédié à la mesure dimensionnelle de haute exactitude et à l’étalonnage d’étalons de transfert de dimensions maximales 25 mm x 25 mm x 7 mm. Afin de réaliser des mesures...
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AFM métrologique du LNE
Performances
Sources bibliographiques
- (1) - The Royal Society & The Royal Academy of Engineering - Nanoscience and nanotechnologies : opportunities and uncertainties - http://www.nanotec.org.uk/finalReport.htm (juillet 2004).
- ...
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