Tests de détection avec la microbalance à quartz
Capteurs chimiques pour la détection d'explosifs

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IN14 V1 Recherche et innovation

Tests de détection avec la microbalance à quartz
Capteurs chimiques pour la détection d'explosifs

Auteur(s) : Pierre MONTMEAT,, Frédéric THERY-MERLAND, Lionel HAIRAULT

Date de publication : 10 décembre 2003 | Read in english

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3. Tests de détection avec la microbalance à quartz

3.1 Principe

Le principe a été décrit au paragraphe  1.2.2 . Précisons ici que ces dispositifs sont utilisés dans l’industrie microélectronique pour contrôler l’épaisseur des couches métalliques déposées....

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