Couches multiples
Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

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Couches multiples
Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

Auteur(s) : Pierre DHEZ

Date de publication : 10 janvier 1996 | Read in english

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4. Couches multiples

Les méthodes de mesure de réflectivité et de diffusion spéculaire, indiquées précédemment pour l’étude des couches uniques, s’appliquent aussi aux couches multiples. Dans un système multicouche, chaque interface réfléchit partiellement l’onde incidente. L’interférence entre ces réflexions apparaît sous forme d’un système de franges observable lors des mesures de réflectivité.

Un cas particulièrement intéressant est celui des empilements périodiques de deux matériaux. Dans ce cas, avec des rayons X, on observe des pics d’interférences analogues à ceux obtenus par réflexion sur les plans atomiques des cristaux. En effet, à plus grande échelle, mais comme le font les plans atomiques d’un cristal, des couches minces alternées de deux matériaux différents modulent la densité électronique dans la direction perpendiculaire au substrat. On peut aussi faire une analogie...

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