5. Analyse chimique et étude de texture des couches
Avec les techniques X présentées jusqu’à présent, on a vu comment évaluer la densité des couches, leurs épaisseurs et leurs rugosités. Nous allons voir maintenant comment étudier la nature chimique et la microcristallinité des couches souvent appelée texture. En fait, la plupart des méthodes d’analyse sous rayons X classiquement employées pour les solides massifs peuvent être adaptées aux cas des couches de surface. Comme pour les autres techniques d’examen de surface, la solution est celle indiquée précédemment : on favorise l’excitation des couches de surface en employant des incidences rasantes et on ajuste ainsi l’épaisseur concernée. Quelques appareils commerciaux proposent des montages et des détecteurs électroniques adaptés aux études de surface. En particulier, les détecteurs à localisation permettent l’enregistrement simultané des photons X émis dans un large domaine angulaire....
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Analyse chimique et étude de texture des couches
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