4. Applications
MOSFET : Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
Les lasers femtoseconde ouvrent un tout nouveau champ d’application à la sonde atomique tomographique, celui des matériaux mauvais conducteurs, notamment les oxydes tels les grilles de contrôle (SiO 2 ) des transistors MOSFET et semi-conducteurs , matériaux clé de la microélectronique.
La microélectronique, domaine dont les enjeux sont très importants, lève un nouveau défi à l’instrument.
Analyser le matériau est une chose, préparer une pointe dans la région d’intérêt en est une autre qui constitue un défi en soi. Nous allons illustrer cela...
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