4. Applications
MOSFET : Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor
Les lasers femtoseconde ouvrent un tout nouveau champ d’application à la sonde atomique tomographique, celui des matériaux mauvais conducteurs, notamment les oxydes tels les grilles de contrôle (SiO2) des transistors MOSFET et semi-conducteurs, matériaux clé de la microélectronique.
La microélectronique, domaine dont les enjeux sont très importants, lève un nouveau défi à l’instrument.
Analyser le matériau est une chose, préparer une pointe dans la région d’intérêt en est une autre qui constitue un défi en soi. Nous allons illustrer cela par un exemple, celui des contacts électriques sur les nanotransistors, briques élémentaires des circuits en microélectronique (figure
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Applications
Conclusion et perspectives
Références
- (1) - MENAND (A.), BLAVETTE (D.) - Sonde atomique tridimensionnelle - Editions Techniques de l’Ingénieur Archives analyse/mesure (1995).
- (2) - CEREZO (A.), GODFREY (T.J.), SMITH (G.D.W.) - Application of a position-sensitive detector to atom probe microanalysis. - Rev. Sci. Instrum. 59 (1988) p. 862.
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