4. Technologies de mise en œuvre
Le lecteur se reportera aux dossiers spécialisés de notre collection.
4.1 Réalisation par PVD
L'abréviation PVD ( Physical Vapor Deposition ) désigne une famille de techniques de dépôt de couches minces par voie physique. Elle comprend les techniques faisant appel à la pulvérisation ionique et celles employant l' évaporation thermique . Presque toutes les techniques PVD sont mises à contribution pour réaliser les microbatteries. La séquence de réalisation en laboratoire d'une microbatterie par PVD est typiquement comme suit :
préparation du substrat...
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Technologies de mise en œuvre
Caractérisations des couches minces et des microbatteries
Sources bibliographiques
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