3. Technologies de mise en œuvre
3.1 Couches minces PVD/CVD
Les microgénérateurs sont constitués par un ensemble de deux électrodes (positive et négative) séparées par un électrolyte solide. L’épaisseur de chacune des couches varie de 1 à quelques µm. Seules les techniques de mise en œuvre de dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) ou de dépôts physiques en phase vapeur (PVD) peuvent permettre l’obtention de couches de faible épaisseur avec des propriétés appropriées.
Les couches obtenues par CVD sont habituellement cristallisées ; elles présentent une bonne adhérence et la vitesse de dépôt pourra être élevée. Le substrat étant chauffé à plusieurs centaines de degrés Celsius, cette technique ne permet pas...
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Technologies de mise en œuvre
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