1. Purification et séparation des gaz rares
La purification et la séparation des gaz rares permettent, à l'aide de processus d'adsorption chimiques et physiques, de s'affranchir de la présence, dans une ligne de purification, de toutes les espèces polluantes (N2 , H2 , CxHy , H2O, etc.) vis-à-vis des gaz rares (interférences isobariques, effet de pression) et de l'enceinte (effet de mémoire). Ces deux étapes doivent permettre au final les améliorations suivantes.
– Introduire dans l'analyseur une pression compatible avec celle exigée par la spectrométrie de masse en mode statique, à savoir 10–9 à 10–7 mbar. Le respect de cette gamme permet, dans la plupart des cas, d'éviter la saturation des collecteurs (cage de Faraday)...
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Purification et séparation des gaz rares