6. Glossaire
fluence (ou fluence énergétique)
Énergie délivrée par le laser par unité d’aire sur la surface de la cible. Elle est généralement exprimée en J/cm 2 , et souvent estimée grâce à un joulemètre et du papier thermique.
laser excimère
Type de laser ultraviolet couramment utilisé en PLD. Il est basé sur un excimère, dimère qui n’est stable qu’à l’état excité et qui se dissocie à l’état fondamental. Les lasers excimères les plus utilisés en PLD sont KrF* à 248 nm et ArF* à 193 nm.
laser-MBE ; laser-molecular beam epitaxy
Technique de PLD généralement couplée avec un RHEED et fonctionnant sous ultravide, permettant de déposer en mode couche par couche...
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