6. Glossaire
fluence (ou fluence énergétique)
Énergie délivrée par le laser par unité d’aire sur la surface de la cible. Elle est généralement exprimée en J/cm2, et souvent estimée grâce à un joulemètre et du papier thermique.
laser excimère
Type de laser ultraviolet couramment utilisé en PLD. Il est basé sur un excimère, dimère qui n’est stable qu’à l’état excité et qui se dissocie à l’état fondamental. Les lasers excimères les plus utilisés en PLD sont KrF* à 248 nm et ArF* à 193 nm.
laser-MBE ; laser-molecular beam epitaxy
Technique de PLD généralement couplée avec un RHEED et fonctionnant sous ultravide, permettant de déposer en mode couche par couche comme dans le cas de la MBE.
RHEED ; reflection high energy electron diffraction
Technique d’analyse in situ utilisée couramment en PLD. Il s’agit d’une...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Glossaire
Sigles
Sources bibliographiques
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Quiz et tests de validation présents dans cet article
Entraînez-vous autant que vous le voulez avec les quiz d'entraînement.
Article inclus dans l'offre
"Nanosciences et nanotechnologies"
(
154 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
