Du micro vers le nano-emboutissage à chaud : développements : Vers le domaine nanométrique

Vers le domaine nanométrique
Du micro vers le nano-emboutissage à chaud : développements

Auteur(s) : Mathias HECKELE, Bertrand FILLON

Date de publication : 1 octobre 2007 | Read in english

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4. Vers le domaine nanométrique

4.1 De la nanolithographie vers le nano-emboutissage

Sur la nanolithographie

Microscopie à force atomique (AFM)[R 1 394] de J.-C. Rivoal et C. Fretigny

C'est d'abord la microélectronique qui s'est intéressé au domaine nanométrique. En technologie lithographique, les pistes électriques de plus en plus petites posent des problèmes de résolution...

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Conclusion et perspectives

Bibliographie

Références

(1) - HECKELE (M.), SCHOMBURG (W.K.) - Review on Micro Molding of Thermoplastic Polymers. - Journal of Micromechanics and Microengineering, 14, R1-R14 (2004).
(2) - DITTRICH (H.), HECKELE (M.), MEHNE (C.) - Double Sided Large Area Hot Embossing for Polymer Microstructures with High Aspect...

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