Brice ARRAZAT

Docteur en microélectronique - École nationale supérieure des Mines de Saint-Étienne

  • Article de bases documentaires : TRI4700
    Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

    Après de très nombreux cycles d'ouverture-fermeture du contact électrique, les performances  des microrelais MEMS se dégradent : les surfaces de contact (couches minces) se déforment et un courant électrique les parcourt, modulant la résistance électrique du contact. La maîtrise de la tribologie de ces couches minces permet de comprendre ce phénomène de dégradation.