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Docteur en microélectronique - École nationale supérieure des Mines de Saint-Étienne
Après de très nombreux cycles d'ouverture-fermeture du contact électrique, les performances des microrelais MEMS se dégradent : les surfaces de contact (couches minces) se déforment et un courant électrique les parcourt, modulant la résistance électrique du contact. La maîtrise de la tribologie de ces couches minces permet de comprendre ce phénomène de dégradation.
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