La spectromicroscopie Auger induite par des électrons est l'une des trois techniques privilégiées pour l'analyse élémentaire des surfaces et des interfaces. Outre l'acquisition de spectre en sonde fixe, cette technique peut également délivrer la cartographie d'un élément ou réaliser une analyse en profondeur permettant de suivre l'évolution des profils de diffusion des divers éléments d'un échantillon. Ainsi, la spectromicroscopie Auger intervient comme méthodes de caractérisation ou d'identification de défaillance dans des processus industriels d'élaboration de matériaux.

La spectroscopie Auger est une technique de microanalyse des surfaces qui permet l'identification des éléments constituant les premières couches atomiques (quelques nanomètres) de la surface des solides. Sa mise en oeuvre s'effectue dans un équipement analogue à celle d'un microscope électronique à balayage, doté de l'ultravide et équipé d'un analyseur d'électrons. Les limites de la technique sont liées aux effets perturbateurs du faisceau incident d'électrons, notamment sur les matériaux isolants ou fragiles.