Rémy GASSILLOUD

Découvrez le dépôt sélectif par zone, une technique permettant de déposer un matériau uniquement sur certaines zones d’un substrat, sans passer par des étapes de photolithographie et de gravure. Sa sélectivité vis-à-vis de la chimie de surface est un point-clef de sa mise en œuvre.

L’utilisation du dépôt par couches atomiques est de plus en plus répandue dans le secteur de la microélectronique. Découvrez les évolutions récentes de cette technique, notamment une plus large gamme de composition des films et différentes solutions pour améliorer la rentabilité de ces procédés.