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Carmen JIMÉNEZ

Ingénieur de Recherche CNRS - Affiliation Laboratoire des Matériaux et du Génie Physique (LMGP) - Université Grenoble Alpes, LMGP, F-38000 Grenoble, France ; CNRS, LMGP, F-38000 Grenoble, FRANCE.

10 octobre 2016

RE263
Apport de la caractérisation in situ dans les procédés ALD

Apprenez comment l’intégration de techniques de caractérisation in situ permet une meilleure maîtrise du procédé de dépôt ALD. Cette approche rend ainsi possible la détermination de la croissance par cycle et l’optimisation des propriétés optiques, morphologiques et structurales.