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Responsable Qualité/Métrologie en Recherche et Développement, STMicroelectronics, Centre Technologique, Rousset, France
Relu et validé
Le principe de la microscopie à sonde locale électrique permet d’accéder, avec une résolution spatiale de l’ordre du nanomètre, aux grandeurs telles que le courant, l’impédance ou encore le champ électrique. Chaque technique possède ses performances, ses sources d’erreur et ses pistes d’amélioration.
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