Philippe MAILLOT

Responsable Qualité/Métrologie en Recherche et Développement, STMicroelectronics, Centre Technologique, Rousset, France

  • Article de bases documentaires : R1084 (relu et validé)
    Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nanocircuits

    Le principe de la microscopie à sonde locale électrique permet d’accéder, avec une résolution spatiale de l’ordre du nanomètre, aux grandeurs telles que le courant, l’impédance ou encore le champ électrique. Chaque technique possède ses performances, ses sources d’erreur et ses pistes d’amélioration.