Marie-Odile RUAULT

Procédé d’ingénierie des matériaux, l’implantation ionique permet de modifier non seulement les propriétés chimiques de la cible, mais également les structurelles. Il s’agit fondamentalement d’un processus hors équilibre thermodynamique, puisqu’en théorie il est possible d’introduire tout élément dans tout matériau, même non compatible chimiquement. Cet article aborde plusieurs domaines d’applications des faisceaux d’ions, certains comme outils de contrôles et de modifications des matériaux, avec ou sans analyse, et d’autres comme outils d’analyse permettant la compréhension de l’interaction ions/matière.

Outil polyvalent, les faisceaux d’ions permettent d’aborder non seulement la synthèse de nouveaux matériaux, mais aussi l’analyse structurale et chimique de systèmes complexes. Après une présentation des phénomènes physiques impliqués (pouvoir d’arrêt, création de défauts), l’article se consacre à la mise en œuvre des faisceaux d’ions (production, tri en masses, dispositifs expérimentaux). Lorsque les faisceaux d'ions sont utilisés en tant qu'outils de modifications contrôlées des échantillons, plusieurs paramètres sont ajustables suivant l’objectif recherché (création de défauts, mise en ordre, synthèse de nouvelles phases). Lorsque le faisceau d'ions est destiné à l’analyse, soit l’échantillon à étudier est la source de production des ions, soit il est la cible bombardée par un faisceau d’ions légers.